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제1회 플라즈마 기술 교류회
일시: 2018년 9월 19일(수요일), 13:30~18:00
장소: 충남대학교 기초과학관 2호관 1층 감민호홀
주최: (사)한국정보디스플레이학회, 플라즈마/장비연구회
[모시는 글]
안녕하십니까? 한국정보디스플레이 플라즈마/장비연구회 회장을 맡고 있는 충남대학교 물리학과 유신재 교수입니다. 연일 계속되는 무더운 날씨와 호우에 어떻게 건강은 잘 챙기시는지요. 곧 다가올 산뜻한 가을과 함께 국내 반도체장비 기술 발전을 도모하기 위한 첫 걸음으로 저희 플라즈마/장비 연구회에서는 “1회 플라즈마 기술 교류회”를 준비하게 되었습니다. 이번 기술 교류회는 반도체 공정 장비에서 가장 보급이 많이 되어 있는 “RF 플라즈마 기술”에 대한 내용으로 시작하려하고 있습니다. 플라즈마와 RF 및 공정 관련 기술을 초보자의 레벨에서 이해할 수 있도록 쉽게 준비하였으니, 관련 분야 대학원생 및 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다.
감사합니다.
한국정보디스플레이학회 플라즈마/장비연구회장 유신재
한국정보디스플레이학회 회장 신성태
[Program]
시간
발표제목
발표자
비고
13:30 ~ 14:50
RF 기초 기술의 이해
이서(주)
김재현 박사
80분
14:50 ~ 15:00
Coffee Break
10분
15:00 ~ 16:20
RF ICP 플라즈마 기술과 동향
(전) 플라즈마트
이상원 박사
16:20 ~ 16:30
16:30 ~ 17:50
RF CCP 플라즈마 기술과 동향
표준과학연구원
이효창 박사
17:20 ~
종합토론
[등록비]
무료
*별도의 사전등록 없이 현장으로 바로 참석하시면 됩니다. (현장등록)
[문의처]
등록 및 결제 관련 문의: 학회 이소연 사원 (Tel: 02-563-7922/ email: kids3@k-ids.or.kr)
