안녕하십니까? 한국정보디스플레이 플라즈마/장비연구회 회장을 맡고 있는 충남대학교 물리학과 유신재 교수입니다. 연일 계속되는 무더운 날씨와 호우에 어떻게 건강은 잘 챙기시는지요. 곧 다가올 산뜻한 가을과 함께 국내 반도체장비 기술 발전을 도모하기 위한 첫 걸음으로 저희 플라즈마/장비 연구회에서는 “1회 플라즈마 기술 교류회”를 준비하게 되었습니다. 이번 기술 교류회는 반도체 공정 장비에서 가장 보급이 많이 되어 있는 “RF 플라즈마 기술”에 대한 내용으로 시작하려하고 있습니다. 플라즈마와 RF 및 공정 관련 기술을 초보자의 레벨에서 이해할 수 있도록 쉽게 준비하였으니, 관련 분야 대학원생 및 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다.
제1회 플라즈마 기술 교류회 [상세내용보기]
