□ 창조 경제를 위한 반도체/디스플레이 공정 플라즈마 기술 워크샵
모시는 글
안녕하십니까? 정보디스플레이 장비 연구회 회장을 맡고 있는 한양대 정진욱 교수 입니다. 봄기운을 느낄 수 있는 최근입니다. 활기찬 새해와 함께 국내 장비 기술 발전을 도모하기 위한 첫 걸음으로 공정 장비에 광범위하게 응용되고 있는 플라즈마 & RF 기술에 대한 워크숍을 준비하였습니다. 공정 장비용 플라즈마 기술 보급과 확산을 위한 것으로 플라즈마와 RF 관련 기술의 기초와 응용을 다루고자 합니다. 관련 분야 대학원생과 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다.
1. 기 간 : 2015. 3월 6(금)
2. 주 관 : 한국정보디스플레이학회 장비 연구회
3. 장 소 : 한국반도체산업협회(반도체 연구조합, 판교) 강당
4. 대 상 : 플라즈마 관심 대학원생 및 산업체 연구원
5. 주요일정 : 강의 제목 및 일정
시간 (질의응답시간포함) | 발표 제목 | 발표자 | 비고 |
플라즈마 이론 및 장비 기초 세션, 좌장: 충남대학교 유신재 |
09:30 ~ 10:30 | 플라즈마 기초 이론 | 한양대학교 | 정진욱 교수 | 60분 |
10:30 ~ 11:30 | 플라즈마 RF 기술 | ㈜ 플라즈마트 | 이상원 박사 | 60분 |
11:30 ~ 12:30 | 플라즈마 소스 기술 | 부산대학교 | 이호준 교수 | 60분 |
12:30 ~ 13:30 | 중 식 | 60분 |
플라즈마 진단 및 시뮬레이션 세션, 좌장: 부산대학교 이호준 |
13:30 ~ 14:20 | 플라즈마 전기적 진단 기술 | 충남대학교 | 유신재 교수 | 50분 |
14:20 ~ 15:10 | 플라즈마 광학적 진단 기술 | 전북대학교 | 문세연 박사 | 50분 |
15:10 ~ 16:00 | 플라즈마 시뮬레이션 기초 및 활용 | 군산대학교 | 주정훈 교수 | 50분 |
16:00 ~ 16:20 | Coffee Break | 20분 |
플라즈마 응용 기술 세션, 좌장: 전북대학교 문세연 |
16:20 ~ 17:00 | 플라즈마 식각기술 | 성균관대학교 | 염근영 교수 | 40분 |
17:00 ~ 17:40 | 플라즈마 공정장비 기술 동향 및 전망 | 삼성전자 | 이상헌 박사 | 40분 |
17:40 ~ | 토론 및 마무리 | |
6. 참가비: 사전등록(무통장입금 및 카드 결제 가능, 3월 2일까지)
- 입금 계좌 : 186-00198-258 씨티은행 (예금주 : 한국정보디스플레이학회 장비연구회)
- 사전등록 방법 : http://k-ids.or.kr/ 학술행사 > 학회연구회 행사 >
일반 KIDS 회원 120,000원/비회원 180,000원
학생 KIDS 회원 80,000원/비회원 105,000원
※ 현장 등록의 경우 2만원 추가됨
7. 식사장소 :
일자 | 장소 | 비고 |
3/6 (중식) | 미 정 | 중식 제공 예정 |
안내문
