제2회 플라즈마 기술 교류회
일시: 2019년 04월 19일 (금), 12:30 ~ 18:00
장소: 한양대학교 백남학술관 강당
주최: (사)한국정보디스플레이학회, 플라즈마/장비 연구회
[모시는 글]
안녕하십니까? 한국정보디스플레이 플라즈마/장비연구회 회장을 맡고 있는 충남대학교 물리학과 유신재 교수입니다. 추운 겨울이 지나고 꽃피는 봄이 왔습니다. 하지만 연일 계속되는 미세먼지로 자연의 아름다움을 만끽하기에는 어려움이 있는 것 같습니다. 이런 계절에는 실외에서 자연을 즐기는 것보다 실내에서 그간 인류가 발견한 자연의 아름다움을 공부하고 즐기는 것이 좋을 듯합니다. 저희 플라즈마/장비 연구회에서는 이러한 취지를 살리어 “플라즈마 공정 기초의 이해”라는 제목으로 제 2회 플라즈마 기술 교류회”를 준비하게 되었습니다. 이번 기술 교류회는 반도체 공정에 사용되는 진공의 원리, 플라즈마원의 원리와 장단점, 플라즈마 공정의 기초등의 내용을 준비하고 있습니다. 이번 교류회 역시 플라즈마와 RF 및 공정 관련 기술을 초보자의 레벨에서 이해할 수 있도록 쉽게 준비하였으니, 관련 분야 대학원생 및 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다. 감사합니다.
한국정보디스플레이학회 플라즈마/장비 연구회장 유신재
한국정보디스플레이학회 회장 유재수
[Program]
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시간
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발표제목
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발표자
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비고
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12:30 ~ 13:40
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진공의 기초와 플라즈마 활용
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충남대
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유신재 교수
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70분
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13:40 ~ 14:50
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플라즈마 소스의 원리와 활용
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한양대
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정진욱 교수
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70분
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14:50 ~ 15:10
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Coffee Break
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10분
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15:10 ~ 16:00
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플라즈마 식각 기술
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성균관대
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염근영 교수
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50분
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16:10 ~ 17:00
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Key Challenges of Plasma Etching
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삼성전자
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이동석 박사
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50분
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17:00 ~ 17:50
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반도체 공정을 위한 플라즈마소스 디자인의 Key Issues
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카이스트
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장홍영 교수
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50분
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17:50 ~
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종합토론
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[참가신청]
1. 사전등록기한 : 2019년 4월 12일(금)까지
2. 사전등록방법 : http://k-ids.or.kr/ 의 학술행사 > 학회연구회행사 > 제2회 플라즈마 기술 교류회 > 상세내용보기 > 사전등록 및 확인(왼쪽) 에서 신청 후 등록비 납부
3. 결제 방법: 카드 결제 혹은 무통장 입금
(입금계좌: 수협은행, 1010-1188-9947, (사)한국정보디스플레이학회)
[등록비]
1. 사전등록
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회원
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비회원
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일반
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120,000원
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일반
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180,000원
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학생
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80,000원
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학생
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110,000원
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2. 현장등록: 사전등록가에 2만원 추가
* 현장 접수 시 대기시간이 길어질 수 있어 사전 등록을 권장합니다.
* 대중교통 이용 바랍니다.
* 비회원 등록자는 행사 종료 후 KIDS홈페이지에서 회원가입 시, 입회비와 올해 연회비가 납부처리 됨
[문의처]
2. 행사 내용 관련 문의: 충남대학교 유신재 교수 (email: sjyou@cnu.ac.kr)
