2014 플라즈마 응용기술 Workshop
주제: 플라즈마 시뮬레이션, 대기압 플라즈마, 액상 플라즈마, 반도체 공정용 플라즈마 응용 기술
일시: 2014년 11월 27일(목)-28일(금)
장소: 부산대학교 특성화공학관 (제10공학관) [27일: 706호, 28일: 204호]
참가대상: 국내외 플라즈마 연구자 및 대학원생 (참가비 무료)
주관기관: 한국정보디스플레이학회 PDP연구회, 부산대학교 LG전자 PDP신기술연구소
11월27일(목) | 행사 내용 및 발표제목 | 발표자 |
16:10 ~ 16:15 | 인사말씀 및 발표자 소개 | 이해준 (좌장) |
16:15 ~ 16:50 | timestep 확장 기법을 중심으로 한 fluid simulation을 이용한 plasma simulation | 최희환 교수 (항공대) |
16:50 ~ 17:25 | 병렬컴퓨팅을 이용한 particle-in-cell 시뮬레이션 고속화 기술 | 이해준 교수 (부산대) |
17:25 ~ 18:00 | 전산수치해석 클러스터 소개와 etching profile simulator | 서광원 사장 (㈜경원테크) |
18:00 ~ 21:00 | 저녁식사 및 토의 | |
11월28일(금) | 행사 내용 및 발표제목 | 발표자 |
10:00 ~ 10:10 | 참석자 소개 | 이해준 (좌장) |
10:10 ~ 10:50 | 대기압 플라즈마 Jet 의 Biomedical 응용 | 정태훈 교수 (동아대) |
10:50 ~ 11:30 | Plasmas in Liquid 1 | 이승환 박사 (핵융합연구소) |
11:30 ~ 12:10 | Plasmas in Liquid 2 | 이상율 교수 (항공대) |
12:10 ~ 13:40 | Lunch Break | |
13:40 ~ 14:20 | 대기압 플라즈마의 산업적 응용 | 표재확 사장 (㈜에이피디) |
14:20 ~ 15:00 | 진공플라즈마를 이용한 반도체공정 청정화 기술 | 허민 박사 (기계연구원) |
15:00 ~ 15:40 | 반도체 공정진단용 초고주파 플라즈마 진단기술 | 유신재 교수 (충남대) |
15:40 ~ 15:50 | 최종 정리 및 해산 | |
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